（如何處理沸石轉輪中的VOCs廢氣殘留）

　　沸石轉輪中VOCs殘留的處理方法，目前對VOCs的末端處理方法包括冷凝、吸附、氧化、生物處理、吸收、等離子體凈化等。我國防治VOCs的要求和力度逐步加強，沸石旋轉吸附濃縮法處理低濃度廢氣成為許多企業(yè)的首選處理方案。在使用過(guò)程中，揮發(fā)性有機化合物殘留在轉輪中，會(huì )導致沸石轉輪劣化，降低處理效率。如何避免和處理這樣的情況？為了減少沸石轉輪設備中揮發(fā)性有機化合物的殘留，應改善揮發(fā)性有機化合物廢氣的入口質(zhì)量，提高脫附效率。

　　廢氣預處理措施通常包括除塵、除濕、除霧、除高沸物等。根據待處理VOCs廢氣的實(shí)際情況，選擇合適的廢氣預處理措施。比如半導體的制造工藝對生產(chǎn)現場(chǎng)的顆粒物有嚴格的要求，一般都是清潔車(chē)間。因此，有機廢氣中顆粒物的含量很小，通常不需要除塵預處理。

　　1.廢氣預處理

　　芯片制造生產(chǎn)過(guò)程中使用的主要有機原料通常具有低沸點(diǎn)和揮發(fā)性的特點(diǎn)，但仍不排除少量高沸點(diǎn)物質(zhì)，如汽提液的主要成分二甘醇胺(沸程218~224℃)。在高沸點(diǎn)物質(zhì)的處理過(guò)程中，可以增加冷凝、前期活性炭吸附等預處理裝置，避免VOCs廢氣中難以脫附的高沸點(diǎn)物質(zhì)進(jìn)入沸石轉輪。高沸點(diǎn)的VOCs進(jìn)入廢氣管道后容易冷凝，從而增加廢氣的濕度。

　　2.用高壓空氣吹掃

　　在停機、檢查和維護期間，用高壓空氣吹掃沸石轉輪。但高壓空氣吹掃只能去除附著(zhù)在沸石轉輪表面的灰塵，而VOCs有機物通常吸附在分子篩孔隙中，無(wú)法有效去除，需要配合上述其他處理方法進(jìn)行選擇。